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真空在鍍膜工業中的應用

2018-07-03

真(zhen)空(kong)(kong)鍍(du)膜(mo)技術(shu)是(shi)真(zhen)空(kong)(kong)應用技術(shu)的(de)(de)一個重(zhong)要(yao)(yao)分支,它已廣泛地應用于光學、電子(zi)(zi)學、能源(yuan)開發,理化(hua)儀器、建(jian)筑機械、包(bao)裝、民(min)用制(zhi)品、表(biao)面科學以(yi)及科學研(yan)究(jiu)等領域中。真(zhen)空(kong)(kong)鍍(du)膜(mo)所采用的(de)(de)方法主要(yao)(yao)有蒸發鍍(du)、濺射鍍(du)、離子(zi)(zi)鍍(du)、束(shu)流沉積(ji)鍍(du)以(yi)及分子(zi)(zi)束(shu)外延等。此外還有化(hua)學氣相(xiang)沉積(ji)法。如果真(zhen)空(kong)(kong)鍍(du)膜(mo)的(de)(de)目的(de)(de)是(shi)為(wei)丁改變(bian)物(wu)質表(biao)面的(de)(de)物(wu)理、化(hua)學性能,則這(zhe)一技術(shu)又是(shi)真(zhen)空(kong)(kong)表(biao)面處(chu)理技術(shu)中的(de)(de)重(zhong)要(yao)(yao)組成部分。現就(jiu)其幾(ji)個主要(yao)(yao)府用方面做(zuo)一簡單介紹。

  首(shou)先(xian)在(zai)(zai)光(guang)(guang)(guang)學方(fang)面,一(yi)塊光(guang)(guang)(guang)學玻璃(li)或(huo)石(shi)英表面上鍍(du)(du)一(yi)層(ceng)或(huo)幾(ji)層(ceng)不同(tong)物質的(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)后,即可(ke)(ke)成為高反射或(huo)無反射(即增透膜(mo)(mo)(mo)(mo))或(huo)者作仟何預(yu)期比例的(de)(de)反射或(huo)透射材料,也(ye)可(ke)(ke)以(yi)(yi)做(zuo)成對(dui)某種(zhong)波(bo)長的(de)(de)吸收,而對(dui)另一(yi)波(bo)長的(de)(de)透射的(de)(de)濾色片。高反射膜(mo)(mo)(mo)(mo)從大(da)口徑的(de)(de)天文望遠鏡(jing)(jing)和各種(zhong)激光(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)開始,一(yi)直到(dao)(dao)新型(xing)建筑物的(de)(de)大(da)宙鍍(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)玻璃(li),都(dou)很需要。增透膜(mo)(mo)(mo)(mo)則(ze)大(da)量用(yong)于照相機(ji)(ji)和電(dian)(dian)(dian)視攝像機(ji)(ji)的(de)(de)鏡(jing)(jing)頭上。在(zai)(zai)電(dian)(dian)(dian)子(zi)學方(fang)面真(zhen)(zhen)(zhen)空鍍(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)更占有極為重要的(de)(de)地位。各種(zhong)規模(mo)的(de)(de)集成電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu),包括(kuo)存儲器(qi)(qi)、運算器(qi)(qi)、高速邏輯元(yuan)件(jian)(jian)等(deng)都(dou)要采用(yong)導(dao)(dao)電(dian)(dian)(dian)膜(mo)(mo)(mo)(mo)、絕緣膜(mo)(mo)(mo)(mo)和保護(hu)膜(mo)(mo)(mo)(mo)。作為制(zhi)備電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)的(de)(de)掩膜(mo)(mo)(mo)(mo)則(ze)用(yong)到(dao)(dao)鉻膜(mo)(mo)(mo)(mo)。磁(ci)帶(dai)、磁(ci)盤、半(ban)導(dao)(dao)體激光(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)、約瑟夫遜器(qi)(qi)件(jian)(jian)、電(dian)(dian)(dian)荷鋁合器(qi)(qi)件(jian)(jian)(CCD)也(ye)都(dou)用(yong)到(dao)(dao)各種(zhong)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)。在(zai)(zai)顯(xian)示光(guang)(guang)(guang)器(qi)(qi)件(jian)(jian)方(fang)面,錄(lu)像磁(ci)頭、高密度錄(lu)像帶(dai)以(yi)(yi)及(ji)平面顯(xian)示裝(zhuang)置的(de)(de)透明(ming)導(dao)(dao)電(dian)(dian)(dian)膜(mo)(mo)(mo)(mo)、攝像管(guan)光(guang)(guang)(guang)導(dao)(dao)膜(mo)(mo)(mo)(mo)、顯(xian)示管(guan)熒光(guang)(guang)(guang)屏的(de)(de)鋁襯等(deng)也(ye)都(dou)是采用(yong)真(zhen)(zhen)(zhen)空鍍(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)制(zhi)備。在(zai)(zai)元(yuan)件(jian)(jian)方(fang)面,在(zai)(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)空中蒸(zheng)(zheng)發(fa)鎳鉻,鉻或(huo)金屬(shu)陶(tao)瓷可(ke)(ke)以(yi)(yi)制(zhi)造電(dian)(dian)(dian)阻(zu),在(zai)(zai)塑料上蒸(zheng)(zheng)發(fa)鋁、一(yi)氧化硅、二氧化欽(qin)等(deng)可(ke)(ke)以(yi)(yi)制(zhi)造電(dian)(dian)(dian)容器(qi)(qi),蒸(zheng)(zheng)發(fa)硒可(ke)(ke)以(yi)(yi)得到(dao)(dao)靜電(dian)(dian)(dian)復(fu)印機(ji)(ji)用(yong)的(de)(de)硒鼓(gu)、蒸(zheng)(zheng)發(fa)銑(xian)酸鋇可(ke)(ke)以(yi)(yi)制(zhi)造磁(ci)致伸縮(suo)的(de)(de)超(chao)聲(sheng)元(yuan)件(jian)(jian)等(deng)等(deng)。真(zhen)(zhen)(zhen)空蒸(zheng)(zheng)發(fa)還(huan)可(ke)(ke)以(yi)(yi)用(yong)于制(zhi)造超(chao)導(dao)(dao)膜(mo)(mo)(mo)(mo)和慣(guan)性約束聚(ju)變反應(ying)用(yong)的(de)(de)微珠鍍(du)(du)層(ceng)。此外還(huan)可(ke)(ke)對(dui)珠寶、鐘表外殼(ke)表面、紡織品(pin)金屬(shu)花紋、金絲銀絲等(deng)蒸(zheng)(zheng)鍍(du)(du)裝(zhuang)飾用(yong)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo),以(yi)(yi)及(ji)用(yong)于濺(jian)射鍍(du)(du)或(huo)離(li)子(zi)鍍(du)(du)對(dui)刀具、模(mo)具等(deng)制(zhi)造超(chao)硬膜(mo)(mo)(mo)(mo)。近兩年內所興起的(de)(de)多弧離(li)子(zi)鍍(du)(du)制(zhi)備銥金制(zhi)航,如不銹鋼(gang)薄(bo)板、鏡(jing)(jing)面板、僵柱(zhu)、扶手(shou)、高檔(dang)床托架、樓梯欄桿等(deng)白(bai)前正在(zai)(zai)盛行。

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