離(li)(li)子(zi)鍍(du)最早是(shi)由D.M.Mattox在(zai)(zai)1963年(nian)提(ti)出的(de)(de)。在(zai)(zai)真空條件下(xia)，利用氣體(ti)放(fang)電使氣體(ti)或蒸(zheng)發物(wu)質離(li)(li)化(hua)，在(zai)(zai)氣體(ti)離(li)(li)子(zi)或蒸(zheng)發物(wu)質離(li)(li)子(zi)轟擊作用的(de)(de)同時(shi)，把蒸(zheng)發物(wu)質或其反(fan)應(ying)物(wu)蒸(zheng)鍍(du)在(zai)(zai)基片上。

　　離子(zi)鍍是將輝(hui)光放電、等離子(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)與真(zhen)空(kong)蒸發鍍膜(mo)技(ji)(ji)術(shu)(shu)相結合的(de)(de)(de)一門新型(xing)鍍膜(mo)技(ji)(ji)術(shu)(shu)。它兼(jian)具真(zhen)空(kong)蒸鍍和濺射鍍膜(mo)的(de)(de)(de)優點，由于(yu)荷能粒子(zi)對基體表(biao)面的(de)(de)(de)轟擊，可以使膜(mo)層附(fu)著(zhu)力強，繞射性(xing)好，沉積速率高，對環境無污(wu)染等好處。

　　離(li)(li)子鍍(du)的種(zhong)類多(duo)(duo)種(zhong)多(duo)(duo)樣，根據鍍(du)料(liao)的氣(qi)化(hua)方(fang)式(shi)(電(dian)(dian)阻加(jia)熱(re)、電(dian)(dian)子束(shu)(shu)加(jia)熱(re)、等離(li)(li)子電(dian)(dian)子束(shu)(shu)加(jia)熱(re)、多(duo)(duo)弧加(jia)熱(re)、高頻感應加(jia)熱(re)等)、氣(qi)化(hua)分子或(huo)原子的離(li)(li)化(hua)和激發(fa)方(fang)式(shi)(輝(hui)光放電(dian)(dian)型、電(dian)(dian)子束(shu)(shu)型、熱(re)電(dian)(dian)子型、等離(li)(li)子電(dian)(dian)子束(shu)(shu)型等)，以(yi)及(ji)不(bu)同(tong)的蒸發(fa)源與不(bu)同(tong)的電(dian)(dian)離(li)(li)方(fang)式(shi)、激發(fa)方(fang)式(shi)可以(yi)有很(hen)多(duo)(duo)種(zhong)不(bu)同(tong)的組合方(fang)式(shi)。

　　總體來(lai)說比較常用的有：直流放(fang)電(dian)(dian)二極(ji)型(xing)(xing)、多陰極(ji)型(xing)(xing)、活性反(fan)應(ying)(ying)蒸鍍(du)(ARE)、空(kong)心陰極(ji)放(fang)電(dian)(dian)離(li)(li)(li)子鍍(du)(HCD)、射頻放(fang)電(dian)(dian)離(li)(li)(li)子鍍(du)(RFIP)、增強的ARE型(xing)(xing)、低壓等(deng)離(li)(li)(li)子型(xing)(xing)離(li)(li)(li)子鍍(du)(LP-PD)、電(dian)(dian)場蒸發、感應(ying)(ying)加熱離(li)(li)(li)子鍍(du)、多弧(hu)離(li)(li)(li)子鍍(du)、電(dian)(dian)弧(hu)放(fang)電(dian)(dian)型(xing)(xing)高(gao)真空(kong)離(li)(li)(li)子鍍(du)、離(li)(li)(li)化團束(shu)鍍(du)等(deng)。

　　由于離(li)(li)子(zi)鍍(du)膜層具(ju)有(you)非常優良(liang)的(de)性能，所以越(yue)來越(yue)受到人們(men)的(de)重視，特別是離(li)(li)子(zi)鍍(du)TiN、TiC在工具(ju)、模具(ju)的(de)超硬鍍(du)膜、裝飾鍍(du)膜等(deng)領域的(de)應用越(yue)來越(yue)廣(guang)泛，并將占(zhan)據(ju)越(yue)來越(yue)重要的(de)地位。

　　在(zai)鐘表行業，因為鈦(tai)無毒無污染，與人體(ti)皮膚接觸，不會引起(qi)過(guo)敏等不良反應，在(zai)表帶上沉積一層鈦(tai)膜(mo)還能(neng)起(qi)到表面裝飾的作(zuo)用，可(ke)以做成金黃、黑(hei)(hei)色、灰(hui)色、紅棕色、橙色等很(hen)多種顏(yan)色，增加美(mei)觀效果。

　　在機加工刀(dao)具方(fang)面，鍍制(zhi)的(de)TiN、TiC以其硬度高、耐磨性(xing)好(hao)，不粘(zhan)刀(dao)等特性(xing)，使得(de)刀(dao)具的(de)使用(yong)壽命可提(ti)高3～10倍，生產效率也大(da)大(da)提(ti)高。

　　在(zai)固體(ti)潤滑膜(mo)方面(mian)，最新(xin)研制(zhi)的多相(xiang)納米復合膜(mo)TiN-MoS2/Ti及(ji)TiN-MoS2/WSe2，這類薄膜(mo)具有(you)摩(mo)擦系數低，摩(mo)擦噪(zao)聲(sheng)小，抗潮(chao)濕氧化能(neng)力(li)較高，高低溫性能(neng)好，抗粉塵磨(mo)損能(neng)力(li)較強(qiang)及(ji)磨(mo)損壽命(ming)較長等特點，被廣(guang)泛運用(yong)于(yu)車輛零部件上。

　　與此(ci)同時，離子鍍鈦也在航(hang)空(kong)航(hang)天，光學器(qi)件等領域應用廣泛，收(shou)效顯著。