一：真(zhen)空鍍膜機主要指一類(lei)需要在(zai)較高真(zhen)空度下進(jin)行的鍍膜，具體包括很多種類(lei)，包括真(zhen)空離子(zi)蒸發(fa)，磁控濺射(she)，MBE分子(zi)束外(wai)延，PLD激(ji)光濺射(she)沉積等(deng)很多種。主要思(si)路是分成蒸發(fa)和濺射(she)兩種。

二：真空鍍膜機有三(san)個泵(beng)的：機械泵(beng)（一般是油旋轉泵(beng)），增壓泵(beng)又叫(jiao)羅茨泵(beng)

，高真(zhen)空泵（擴散泵或(huo)者分子泵）

機械泵

是從大(da)氣(qi)開始工作(zuo)的(de)(de)，機械泵排氣(qi)的(de)(de)效果(guo)(guo)還(huan)與電機的(de)(de)轉速(su)及皮(pi)帶(dai)的(de)(de)松緊度有關系，當電機的(de)(de)皮(pi)帶(dai)比較(jiao)松，電機轉速(su)很(hen)慢的(de)(de)時候，機械泵的(de)(de)排氣(qi)效果(guo)(guo)也會變差(cha)，所以要經常保養，點(dian)檢，機械泵油(you)的(de)(de)密封效果(guo)(guo)也需要常常點(dian)檢，油(you)過少(shao)，達不到密封效果(guo)(guo)，泵內會漏(lou)氣(qi)，油(you)過多，把吸氣(qi)孔堵塞，無(wu)法吸氣(qi)和(he)排氣(qi)，一般(ban)，在油(you)位在線下0.5厘米即可。

增壓泵：

它(ta)是具有一對(dui)同步高(gao)速旋轉的(de)(de)雙葉形或(huo)多葉形轉子的(de)(de)機(ji)械泵(beng)，由于它(ta)的(de)(de)工作原理與羅茨鼓風機(ji)相同，所(suo)以又(you)可以叫羅茨真空泵(beng)，此(ci)(ci)泵(beng)在100-1帕(pa)壓(ya)強(qiang)范(fan)圍內有較大的(de)(de)抽氣(qi)速度，它(ta)彌補了機(ji)械泵(beng)在此(ci)(ci)范(fan)圍內排氣(qi)能力(li)不足的(de)(de)缺點(dian)，此(ci)(ci)泵(beng)不能從(cong)大氣(qi)開始工作，也不能直接排出大氣(qi)，它(ta)的(de)(de)作用僅僅是增加進(jin)氣(qi)口(kou)和排氣(qi)口(kou)之間的(de)(de)壓(ya)差，其余的(de)(de)則需要機(ji)械泵(beng)來完成，因此(ci)(ci)，它(ta)必須配以機(ji)械泵(beng)作為(wei)前(qian)級泵(beng)。

油擴散(san)泵(beng)：機械(xie)泵(beng)的極限(xian)真空只有(you)10-2帕，當達到10-1帕的時(shi)候，實(shi)際(ji)抽速只有(you)理論(lun)的1/10，如果要獲得高真空的話，必須采用油擴散(san)泵(beng)。

油擴散泵

應(ying)用(yong)(yong)壓強(qiang)范圍是(shi)10-1帕-10-7帕，它是(shi)利(li)用(yong)(yong)氣體的擴(kuo)散(san)現象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（最高(gao)可(ke)以達到10+5升/秒(miao)）等特點。油擴(kuo)散(san)泵(beng)主(zhu)要(yao)由泵(beng)殼(ke)、噴嘴、導流管和(he)加熱器組成(cheng)，里面(mian)主(zhu)要(yao)添加擴(kuo)散(san)泵(beng)油（日本(ben)的型號是(shi)D-704#），根據噴嘴的多(duo)少可(ke)以分為單級泵(beng)和(he)多(duo)級泵(beng)。

當(dang)(dang)擴散泵(beng)的(de)油(you)被(bei)電爐加(jia)熱時，產生(sheng)的(de)油(you)蒸(zheng)汽提供前(qian)置壓強，機械泵(beng)充(chong)當(dang)(dang)前(qian)置泵(beng)。當(dang)(dang)擴散泵(beng)油(you)被(bei)電爐加(jia)熱時，產生(sheng)的(de)油(you)蒸(zheng)汽沿著(zhu)導流(liu)管(guan)經傘形噴嘴(zui)向下(xia)噴出(chu)。因噴嘴(zui)外面有機械泵(beng)提供的(de)1-10-1帕的(de)真(zhen)空，故油(you)蒸(zheng)汽可噴出(chu)一段距離，構成(cheng)一個(ge)向出(chu)氣口(kou)方向運動(dong)的(de)射(she)流(liu)。射(she)流(liu)最后碰上(shang)由冷(leng)卻水冷(leng)卻的(de)泵(beng)壁，凝(ning)結為液體，流(liu)回蒸(zheng)發(fa)(fa)器(qi)，即靠(kao)油(you)的(de)蒸(zheng)發(fa)(fa)——噴射(she)——凝(ning)結，重復循環來(lai)實現抽氣的(de)。

操作程序

真(zhen)空(kong)鍍(du)膜機(ji)操作程序具(ju)體操作時請參照該設備說明書(shu)

和(he)設備上儀表盤指(zhi)針顯示及(ji)各旋鈕(niu)下的標注說明。

① 檢查真(zhen)空鍍膜機各操作控制開關是否在(zai)"關"位(wei)置(zhi)。

② 打開總(zong)電(dian)源開關，設備送電(dian)。

③ 低壓閥(fa)拉出(chu)。開充(chong)氣閥(fa)，聽不到(dao)氣流聲(sheng)后(hou)，啟(qi)動升鐘罩閥(fa)，鐘罩升起。

④ 安裝固(gu)定鎢螺旋加(jia)熱(re)子。把PVDF薄膜和(he)鋁蓋板固(gu)定在轉動圓盤上(shang)。把鋁絲穿放在螺旋加(jia)熱(re)子內。清理(li)鐘罩內各部位，保證無任何雜(za)質污物。

⑤ 落(luo)下鐘罩(zhao)。

⑥ 啟動抽真空(kong)機械(xie)泵。

⑦ 開復(fu)合真空計電源(復(fu)合真空計型號:Fzh-1A)。

a.左旋鈕"1"順時針旋轉至指向(xiang)2區段的加(jia)熱位置。

b.低真空(kong)表(biao)"2"內指(zhi)針(zhen)順時針(zhen)移動，當指(zhi)針(zhen)移動至(zhi)110mA時，左旋鈕(niu)"1"旋轉至(zhi)指(zhi)向2區段測量位置。

⑧ 當低真空(kong)表"2"內指(zhi)針(zhen)再次順時針(zhen)移動(dong)至6.7Pa時，低壓閥推入。這(zhe)時左旋(xuan)鈕"1"旋(xuan)轉(zhuan)至指(zhi)向1區段測(ce)量(liang)位置(zhi)。

⑨ 真空鍍膜機開(kai)通冷卻水，啟(qi)動擴散泵，加熱40min。

⑩ 低(di)壓(ya)閥拉(la)出。重復一次⑦動(dong)作(zuo)程(cheng)序(xu):左下旋鈕"1"轉至指向(xiang)2區(qu)段測量位置。低(di)真空表"2"內指針(zhen)(zhen)順(shun)時(shi)針(zhen)(zhen)移動(dong)，當指針(zhen)(zhen)移動(dong)至6.7Pa時(shi)，開高壓(ya)閥(閥桿(gan)順(shun)時(shi)針(zhen)(zhen)旋轉)。

? 等低真(zhen)空表(biao)"2"內指針右移動至0.1Pa時，開(kai)規管(guan)燈絲開(kai)關。

a. 發(fa)射(she)、零點測量鈕"9"旋轉至指向發(fa)射(she)位(wei)置。

b. 左(zuo)下(xia)旋(xuan)鈕(niu)"1"旋(xuan)轉(zhuan)至(zhi)指向1區(qu)段測(ce)量(liang)位置(zhi)。

? 旋轉發射調節鈕"4"，使高壓真空(kong)表"5"內指針指向(xiang)5。

? 發(fa)射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

? 旋轉零點調節鈕"10"，讓高(gao)壓(ya)真空表"5"內指(zhi)針指(zhi)向0位置。

? 發(fa)射、零(ling)點、測量旋鈕"9"旋轉至指(zhi)向測量位置(zhi)。

? 旋轉標準調(diao)節鈕"3"，讓高壓真空表"5"內指(zhi)針(zhen)指(zhi)向10。

? 旋轉(zhuan)"倍加器"開關鈕"8"至指向(xiang)10-12，當高壓真空表"5"內指針(zhen)逆時針(zhen)左(zuo)移超過1時，再(zai)把"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉(zhuan)至指向(xiang)10-3。

? 當高壓真空(kong)表"5"內指(zhi)針(zhen)逆(ni)時(shi)針(zhen)移(yi)動超過(guo)6.7Pa時(shi)，開(kai)工(gong)件旋轉鈕(niu)開(kai)關，鐘(zhong)罩(zhao)內被鍍件PVDF膜轉動。

? 開蒸發鈕開關。把(ba)電(dian)流分插塞插入(ru)蒸發電(dian)極分配孔內(設(she)有1、 2、 3、 4孔，可(ke)插入(ru)任意一孔)。

? 右手旋轉(zhuan)右側調壓器手輪，慢慢旋轉(zhuan)升壓。

a. 從視鏡窗口觀察鎢(wu)螺(luo)旋(xuan)加熱子(zi)的加熱溫度顏色變化(hua)情(qing)況。

b. 當鎢(wu)螺旋加熱子顏色變成(cheng)黃(huang)橙色，鋁絲開始熔化(hua)時，左手(shou)操(cao)作擋板(ban)鈕，移開鎢(wu)螺旋上方擋板(ban)。

c. 鋁絲全(quan)部熔化蒸發，擋板回原位。

d. 右手旋轉調壓器手輪回零位(wei)。第(di)一(yi)次蒸鍍工作完成。

21. 如(ru)果再(zai)想蒸鍍(du)一(yi)次(為了增加(jia)電(dian)極金(jin)屬層(ceng)厚(hou)度(du)):把(ba)電(dian)流分插(cha)塞撥出插(cha)入另一(yi)個電(dian)極分配孔(kong)。重復(fu)?操作動作。

22. 關(guan)閉規管燈絲(si)開(kai)關(guan)。關(guan)閉高壓閥(逆時(shi)針轉(zhuan)手柄)。關(guan)閉工件旋轉(zhuan)。關(guan)閉蒸發。旋轉(zhuan)機械泵鈕(niu)至指向擴(kuo)散(san)泵位置(zhi)。

23. 低壓閥拉出。鐘罩(zhao)充(chong)氣(qi)。充(chong)氣(qi)一(yi)段時間，當沒(mei)有氣(qi).聲時，升鐘罩(zhao)。

24. 鎢(wu)螺旋加熱子內加鋁(lv)絲(si)。PVDF薄膜(mo)調換(huan)另一面(mian)向下 (原(yuan)下面(mian)已鍍一層鋁(lv)膜(mo)面(mian)向上(shang))。緊固在轉動(dong)圓盤(pan)上(shang)。

25. 落(luo)鐘罩。開(kai)機械泵。

a. 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測(ce)量位(wei)置。

b. 當低壓真空表"2"內指(zhi)針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

c. 左下旋鈕"1"旋轉(zhuan)至指向1區段測量位置。

d. 當(dang)低壓(ya)真空表"2"內指針順時(shi)針移(yi)動到6.7Pa時(shi)，開高壓(ya)閥(fa)。旋(xuan)鈕(niu)"1"旋(xuan)轉至指向(xiang)2區段測量位置(zhi)。

e. 當(dang)低(di)壓真空表"2"內指針(zhen)順時針(zhen)移(yi)動到指向0.1Pa時，開規管燈絲(si)。

f. 由?開始重復操作至(zhi)? 。

26. PVDF薄膜蒸鍍完鋁層后(hou)，按順序關閉規管燈絲、高壓閥(fa)、機械泵(beng)、擴(kuo)散泵(beng)。把低壓閥(fa)拉出(chu)。鐘(zhong)罩充(chong)氣(qi)，充(chong)氣(qi)完畢后(hou)升鐘(zhong)罩。取出(chu)工件(jian)，做(zuo)好(hao)鐘(zhong)罩內清理(li)工作。

a. 落下鐘(zhong)罩。

b. 開機械泵(beng)，抽3~5min，停機械泵(beng)。

c. 切斷(duan)供(gong)電總開(kai)關。

d. 1h后再(zai)關閉冷卻(que)水。操作全部完成(cheng)。

27. 正常(chang)生產中，如遇到(dao)突然停電時，要立即(ji)切斷高(gao)(gao)真(zhen)空測量(liang)，關閉規管燈絲，高(gao)(gao)壓閥、低壓閥拉(la)出(chu)。來(lai)電后(hou)(hou)，先讓機(ji)械(xie)泵啟動(dong)工作3~5min后(hou)(hou)，再轉入正常(chang)生產。