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蘇州辰杰真空鍍膜有限公司
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PVD真空鍍膜技術歷史起源

2021-10-17

真空涂層技術在(zai)上(shang)(shang)世紀(ji)六十(shi)年(nian)代オ出(chu)現,將CVD(化學(xue)氣(qi)相沉積)技術應用于使硬(ying)質合(he)金(jin)刀具上(shang)(shang)。由于該(gai)技術需(xu)在(zai)高(gao)溫下進行(xing)。到了上(shang)(shang)世紀(ji)七十(shi)年(nian)代末,開(kai)始出(chu)現因:


(1)其在真空密封的(de)腔(qiang)體(ti)內成(cheng)膜,幾(ji)乎無任(ren)何環境(jing)污染問(wen)題,有(you)利(li)于環保;


(2)其能(neng)得(de)到(dao)光亮、華(hua)貴的表面,在顏色(se)上(shang),成熟的有七(qi)彩色(se)、銀色(se)、透(tou)明色(se)、金(jin)黃色(se)、黑色(se)、以及由(you)金(jin)黃色(se)到(dao)黑色(se)之間的任(ren)何一種顏色(se),能(neng)夠(gou)滿足裝飾性(xing)的各種需要;


(3)可(ke)以輕松得到其他方法難以獲得的(de)(de)高硬(ying)度、高耐磨性的(de)(de)陶(tao)瓷涂層、復合涂層,應用在工裝(zhuang)、模具上面,可(ke)以使壽(shou)命成倍(bei)提高,較(jiao)好地實現了低成本、高收(shou)益的(de)(de)效果;


(4)此(ci)外,PVD涂層技術具有低溫、高(gao)能兩個(ge)特點(dian),幾乎可以在任何(he)基材上成膜,因此(ci),應用(yong)范(fan)圍(wei)十分廣闊,其(qi)發展神(shen)速也就不(bu)足(zu)為奇(qi)。


真空涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)技術發(fa)展(zhan)到(dao)了今天(tian)還出(chu)現了PCVD(物理化學氣(qi)相(xiang)沉積(ji))、MI-CVD(中(zhong)溫化學氣(qi)相(xiang)沉積(ji))等新(xin)技術,各(ge)種涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)設備(bei)、各(ge)種涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)工藝(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)出(chu)不(bu)窮(qiong)。目前較為(wei)成(cheng)熟的PVD方(fang)法(fa)(fa)主要有(you)多(duo)(duo)弧鍍(du)與(yu)磁(ci)控(kong)(kong)濺射(she)鍍(du)兩(liang)種方(fang)式。多(duo)(duo)弧鍍(du)設備(bei)結構(gou)簡單,容易操作。多(duo)(duo)弧鍍(du)的不(bu)足(zu)之處(chu)是(shi),在用傳(chuan)統的DC電源(yuan)做低(di)溫涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)條件下(xia),當涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)度達(da)到(dao)0.3μm時,沉積(ji)率(lv)與(yu)反射(she)率(lv)接近,成(cheng)膜(mo)變(bian)得非(fei)常困難。而且,薄膜(mo)表面開始變(bian)朦(meng)。多(duo)(duo)弧鍍(du)另一(yi)個不(bu)足(zu)之處(chu)是(shi),由(you)于(yu)金(jin)屬是(shi)熔后蒸發(fa),因此沉積(ji)顆粒較大,致密(mi)度低(di),耐磨(mo)性比磁(ci)控(kong)(kong)濺射(she)法(fa)(fa)成(cheng)膜(mo)差。可見,多(duo)(duo)弧鍍(du)膜(mo)與(yu)磁(ci)控(kong)(kong)濺射(she)法(fa)(fa)鍍(du)膜(mo)各(ge)有(you)優劣(lie),為(wei)了盡可能地發(fa)揮它(ta)們各(ge)自的優越性,實現互(hu)補,將多(duo)(duo)弧技術與(yu)磁(ci)控(kong)(kong)技術合而為(wei)一(yi)的涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)機應(ying)運而生。在工藝(yi)上(shang)出(chu)現了多(duo)(duo)弧鍍(du)打底,然后利(li)用磁(ci)控(kong)(kong)濺射(she)法(fa)(fa)増厚(hou)涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng),再(zai)利(li)用多(duo)(duo)弧鍍(du)達(da)到(dao)穩(wen)定的表面涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)顏色的新(xin)方(fang)法(fa)(fa)。

真空鍍膜


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