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其(qi)原理是在真空(kong)條件下,用蒸(zheng)發(fa)器(qi)加(jia)熱帶蒸(zheng)發(fa)物質,使其(qi)氣化或升華,蒸(zheng)發(fa)離子(zi)流直接(jie)射向基片(pian),并在基片(pian)上沉積(ji)析出固態薄膜的技術。
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