真空鍍(du)膜的(de)方法很多,計有(you):
(1)真(zhen)空蒸(zheng)(zheng)鍍(du):將(jiang)需(xu)鍍(du)膜(mo)的基體清洗后(hou)放到鍍(du)膜(mo)室,抽空后(hou)將(jiang)膜(mo)料加熱到高溫,使(shi)蒸(zheng)(zheng)氣達到約13.3Pa而使(shi)蒸(zheng)(zheng)氣分(fen)子飛(fei)到基體表面(mian),凝(ning)結(jie)而成薄膜(mo)。
(2)陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體放在陰極對面,把惰性氣體(如氬)通入已抽空的室內,保持壓強約1.33~13.3Pa,然后將陰極接上2000V的直流電源,便激發輝光放電,帶正電的氬(ya)離子撞(zhuang)擊陰極(ji),使其射(she)出原子,濺射(she)出的原子通過惰(duo)性氣氛沉積到基體上形(xing)成膜。
(3)化學氣相沉(chen)積:通過(guo)(guo)熱分解所選定的(de)金屬化合(he)物或有機化合(he)物,獲得(de)沉(chen)積薄膜的(de)過(guo)(guo)程。
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