真空鍍(du)膜的方法很多,計有:
(1)真空蒸鍍(du):將(jiang)需鍍(du)膜的基體清洗后放到鍍(du)膜室(shi),抽空后將(jiang)膜料(liao)加熱到高溫,使(shi)蒸氣達到約13.3Pa而使(shi)蒸氣分子飛到基體表面,凝結而成薄膜。
(2)陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體放在陰極對面,把惰性氣體(如氬)通入已抽空的室內,保持壓強約1.33~13.3Pa,然后將陰極接上2000V的直流電源,便激發輝光放電,帶正(zheng)電的(de)氬離子撞(zhuang)擊陰極,使(shi)其射(she)出(chu)原子,濺(jian)射(she)出(chu)的(de)原子通過惰性氣氛沉積到基體上(shang)形(xing)成膜。
(3)化學氣相沉(chen)積:通過(guo)熱分解所選(xuan)定的金屬化合物或(huo)有機化合物,獲得沉(chen)積薄膜的過(guo)程。
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