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其(qi)原理是在真空條件下,用蒸發器加(jia)熱帶(dai)蒸發物(wu)質,使(shi)其(qi)氣(qi)化或升華,蒸發離子流直接射向基片,并在基片上沉積析(xi)出固(gu)態薄膜的(de)技(ji)術。
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