真空(kong)鍍膜(mo)技術一般(ban)分為兩大類，即物理氣(qi)相(xiang)沉積（PVD）技術和化學(xue)氣(qi)相(xiang)沉積（CVD）技術。

物(wu)理(li)(li)氣(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)技術是指在(zai)(zai)真(zhen)空條(tiao)件下(xia)，利(li)用(yong)(yong)(yong)各(ge)種物(wu)理(li)(li)方(fang)(fang)法，將鍍料氣(qi)化(hua)成原子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)、分子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)或使其離化(hua)為(wei)離子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)，直接沉(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)到基體表面上的(de)方(fang)(fang)法。制(zhi)(zhi)(zhi)備硬質反應(ying)膜(mo)(mo)大(da)多以物(wu)理(li)(li)氣(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)方(fang)(fang)法制(zhi)(zhi)(zhi)得，它利(li)用(yong)(yong)(yong)某種物(wu)理(li)(li)過(guo)程，如物(wu)質的(de)熱蒸發，或受到離子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)轟(hong)擊時物(wu)質表面原子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)的(de)濺射(she)等(deng)現象，實現物(wu)質原子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)從源物(wu)質到薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)可(ke)控轉移(yi)過(guo)程。物(wu)理(li)(li)氣(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)技術具(ju)有膜(mo)(mo)/基結合力好(hao)、薄(bo)膜(mo)(mo)均勻致密、薄(bo)膜(mo)(mo)厚度可(ke)控性(xing)好(hao)、應(ying)用(yong)(yong)(yong)的(de)靶材廣泛、濺射(she)范(fan)圍(wei)寬(kuan)、可(ke)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)厚膜(mo)(mo)、可(ke)制(zhi)(zhi)(zhi)取成分穩定的(de)合金膜(mo)(mo)和重復性(xing)好(hao)等(deng)優點。同(tong)時，物(wu)理(li)(li)氣(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)技術由(you)于(yu)其工藝(yi)處理(li)(li)溫度可(ke)控制(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)(zai)500℃以下(xia)，因此可(ke)作為(wei)最終的(de)處理(li)(li)工藝(yi)用(yong)(yong)(yong)于(yu)高(gao)(gao)(gao)速(su)鋼(gang)和硬質合金類的(de)薄(bo)膜(mo)(mo)刀具(ju)上。由(you)于(yu)采(cai)用(yong)(yong)(yong)物(wu)理(li)(li)氣(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)工藝(yi)可(ke)大(da)幅(fu)度提高(gao)(gao)(gao)刀具(ju)的(de)切削(xue)性(xing)能(neng)，人們在(zai)(zai)競相(xiang)開發高(gao)(gao)(gao)性(xing)能(neng)、高(gao)(gao)(gao)可(ke)靠性(xing)設(she)備的(de)同(tong)時，也對其應(ying)用(yong)(yong)(yong)領(ling)域(yu)的(de)擴展，尤其是在(zai)(zai)高(gao)(gao)(gao)速(su)鋼(gang)、硬質合金和陶瓷(ci)類刀具(ju)中的(de)應(ying)用(yong)(yong)(yong)進行(xing)了更加深入的(de)研(yan)究。

化學(xue)(xue)氣(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)積(ji)技術是把含有構成薄膜(mo)元素的(de)單質氣(qi)(qi)體(ti)(ti)或化合物供(gong)給基體(ti)(ti)，借助氣(qi)(qi)相(xiang)作(zuo)用或基體(ti)(ti)表面上的(de)化學(xue)(xue)反應(ying)，在基體(ti)(ti)上制出金屬或化合物薄膜(mo)的(de)方法，主要(yao)包括常壓化學(xue)(xue)氣(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)積(ji)、低壓化學(xue)(xue)氣(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)積(ji)和兼有CVD和PVD兩(liang)者(zhe)特(te)點(dian)的(de)等(deng)離(li)子(zi)化學(xue)(xue)氣(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)積(ji)等(deng)。 

資料整理(li)中(zhong)...

資料整理中...