真空(kong)鍍膜技(ji)術(shu)一般分為兩(liang)大類，即物理氣(qi)相(xiang)沉積（PVD）技(ji)術(shu)和化學(xue)氣(qi)相(xiang)沉積（CVD）技(ji)術(shu)。

物(wu)(wu)(wu)(wu)理(li)(li)(li)氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)技(ji)術(shu)是(shi)指在(zai)真空條件下，利用(yong)各種物(wu)(wu)(wu)(wu)理(li)(li)(li)方(fang)(fang)法，將(jiang)鍍(du)料氣(qi)(qi)化(hua)(hua)成(cheng)原子(zi)(zi)(zi)、分子(zi)(zi)(zi)或(huo)使其離(li)化(hua)(hua)為(wei)離(li)子(zi)(zi)(zi)，直接沉(chen)(chen)積(ji)到基體表面上的(de)(de)(de)方(fang)(fang)法。制備硬質(zhi)反應(ying)(ying)膜(mo)大(da)多(duo)以物(wu)(wu)(wu)(wu)理(li)(li)(li)氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)方(fang)(fang)法制得，它(ta)利用(yong)某(mou)種物(wu)(wu)(wu)(wu)理(li)(li)(li)過程，如(ru)物(wu)(wu)(wu)(wu)質(zhi)的(de)(de)(de)熱(re)蒸(zheng)發，或(huo)受到離(li)子(zi)(zi)(zi)轟擊時物(wu)(wu)(wu)(wu)質(zhi)表面原子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)(de)濺射等現(xian)象，實(shi)現(xian)物(wu)(wu)(wu)(wu)質(zhi)原子(zi)(zi)(zi)從(cong)源物(wu)(wu)(wu)(wu)質(zhi)到薄膜(mo)的(de)(de)(de)可(ke)控轉(zhuan)移過程。物(wu)(wu)(wu)(wu)理(li)(li)(li)氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)技(ji)術(shu)具有(you)膜(mo)/基結合(he)(he)力好(hao)、薄膜(mo)均(jun)勻致密(mi)、薄膜(mo)厚度可(ke)控性(xing)好(hao)、應(ying)(ying)用(yong)的(de)(de)(de)靶(ba)材廣泛、濺射范圍寬、可(ke)沉(chen)(chen)積(ji)厚膜(mo)、可(ke)制取成(cheng)分穩定的(de)(de)(de)合(he)(he)金(jin)膜(mo)和重(zhong)復性(xing)好(hao)等優點。同(tong)(tong)時，物(wu)(wu)(wu)(wu)理(li)(li)(li)氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)技(ji)術(shu)由(you)(you)于(yu)(yu)其工(gong)(gong)藝處(chu)理(li)(li)(li)溫度可(ke)控制在(zai)500℃以下，因(yin)此可(ke)作(zuo)為(wei)最終的(de)(de)(de)處(chu)理(li)(li)(li)工(gong)(gong)藝用(yong)于(yu)(yu)高(gao)(gao)(gao)速鋼和硬質(zhi)合(he)(he)金(jin)類(lei)的(de)(de)(de)薄膜(mo)刀具上。由(you)(you)于(yu)(yu)采用(yong)物(wu)(wu)(wu)(wu)理(li)(li)(li)氣(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)工(gong)(gong)藝可(ke)大(da)幅度提高(gao)(gao)(gao)刀具的(de)(de)(de)切(qie)削(xue)性(xing)能，人們在(zai)競相(xiang)(xiang)(xiang)開發高(gao)(gao)(gao)性(xing)能、高(gao)(gao)(gao)可(ke)靠性(xing)設備的(de)(de)(de)同(tong)(tong)時，也對其應(ying)(ying)用(yong)領域(yu)的(de)(de)(de)擴展(zhan)，尤其是(shi)在(zai)高(gao)(gao)(gao)速鋼、硬質(zhi)合(he)(he)金(jin)和陶瓷類(lei)刀具中的(de)(de)(de)應(ying)(ying)用(yong)進行了更加深(shen)入(ru)的(de)(de)(de)研究。

化(hua)(hua)(hua)學(xue)氣(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)積(ji)技(ji)術是把含(han)有構成薄(bo)(bo)膜元(yuan)素的(de)單質(zhi)氣(qi)體(ti)或化(hua)(hua)(hua)合物(wu)供給基體(ti)，借助氣(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)作用或基體(ti)表面上(shang)的(de)化(hua)(hua)(hua)學(xue)反應，在基體(ti)上(shang)制出金(jin)屬(shu)或化(hua)(hua)(hua)合物(wu)薄(bo)(bo)膜的(de)方法，主要包括常(chang)壓化(hua)(hua)(hua)學(xue)氣(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)積(ji)、低壓化(hua)(hua)(hua)學(xue)氣(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)積(ji)和兼有CVD和PVD兩(liang)者特點的(de)等離(li)子化(hua)(hua)(hua)學(xue)氣(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)積(ji)等。 

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