真空鍍膜技(ji)術一般(ban)分為兩(liang)大類，即(ji)物理氣(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)(ji)（PVD）技(ji)術和化學氣(qi)相(xiang)(xiang)沉積(ji)(ji)（CVD）技(ji)術。

物(wu)(wu)(wu)理(li)(li)氣(qi)(qi)相沉(chen)積(ji)(ji)技術是(shi)指在(zai)(zai)真空條(tiao)件(jian)下(xia)，利用各種物(wu)(wu)(wu)理(li)(li)方(fang)法，將鍍料(liao)氣(qi)(qi)化成(cheng)原子、分子或(huo)使其(qi)離(li)化為(wei)離(li)子，直接沉(chen)積(ji)(ji)到(dao)基(ji)體表(biao)面上的(de)方(fang)法。制備硬質反應膜(mo)(mo)大(da)多以物(wu)(wu)(wu)理(li)(li)氣(qi)(qi)相沉(chen)積(ji)(ji)方(fang)法制得(de)，它利用某種物(wu)(wu)(wu)理(li)(li)過程，如物(wu)(wu)(wu)質的(de)熱(re)蒸發(fa)，或(huo)受到(dao)離(li)子轟擊時(shi)物(wu)(wu)(wu)質表(biao)面原子的(de)濺射(she)等(deng)現(xian)象，實(shi)現(xian)物(wu)(wu)(wu)質原子從源(yuan)物(wu)(wu)(wu)質到(dao)薄膜(mo)(mo)的(de)可(ke)(ke)控轉移過程。物(wu)(wu)(wu)理(li)(li)氣(qi)(qi)相沉(chen)積(ji)(ji)技術具(ju)(ju)有(you)膜(mo)(mo)/基(ji)結合(he)(he)力好(hao)、薄膜(mo)(mo)均(jun)勻致密、薄膜(mo)(mo)厚度(du)可(ke)(ke)控性好(hao)、應用的(de)靶材廣泛(fan)、濺射(she)范圍寬、可(ke)(ke)沉(chen)積(ji)(ji)厚膜(mo)(mo)、可(ke)(ke)制取成(cheng)分穩定(ding)的(de)合(he)(he)金膜(mo)(mo)和(he)重復性好(hao)等(deng)優點。同(tong)時(shi)，物(wu)(wu)(wu)理(li)(li)氣(qi)(qi)相沉(chen)積(ji)(ji)技術由(you)于其(qi)工(gong)藝(yi)處(chu)(chu)理(li)(li)溫度(du)可(ke)(ke)控制在(zai)(zai)500℃以下(xia)，因此可(ke)(ke)作為(wei)最終的(de)處(chu)(chu)理(li)(li)工(gong)藝(yi)用于高(gao)速鋼和(he)硬質合(he)(he)金類的(de)薄膜(mo)(mo)刀(dao)(dao)具(ju)(ju)上。由(you)于采(cai)用物(wu)(wu)(wu)理(li)(li)氣(qi)(qi)相沉(chen)積(ji)(ji)工(gong)藝(yi)可(ke)(ke)大(da)幅度(du)提高(gao)刀(dao)(dao)具(ju)(ju)的(de)切削性能，人們在(zai)(zai)競(jing)相開發(fa)高(gao)性能、高(gao)可(ke)(ke)靠性設備的(de)同(tong)時(shi)，也對(dui)其(qi)應用領域(yu)的(de)擴展，尤其(qi)是(shi)在(zai)(zai)高(gao)速鋼、硬質合(he)(he)金和(he)陶瓷類刀(dao)(dao)具(ju)(ju)中的(de)應用進(jin)行(xing)了更加深入的(de)研究(jiu)。

化(hua)(hua)學(xue)氣(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉積技術是(shi)把含有(you)構成薄(bo)膜元(yuan)素的單(dan)質(zhi)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)或化(hua)(hua)合物供(gong)給基體(ti)，借助(zhu)氣(qi)(qi)(qi)相(xiang)作用或基體(ti)表面上(shang)(shang)的化(hua)(hua)學(xue)反(fan)應，在基體(ti)上(shang)(shang)制出金屬或化(hua)(hua)合物薄(bo)膜的方法，主要包括常壓(ya)化(hua)(hua)學(xue)氣(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉積、低壓(ya)化(hua)(hua)學(xue)氣(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉積和(he)(he)兼有(you)CVD和(he)(he)PVD兩者特點的等(deng)離子化(hua)(hua)學(xue)氣(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉積等(deng)。 

資料整理中...

資料整理(li)中...